ZhenAn이 설명한 대로 타겟 설치 중에 어떤 예방 조치를 취해야 합니까?
타겟 설치 중 가장 중요한 예방 조치는 타겟과 스퍼터링 건의 냉각 지팡이 사이의 양호한 열 연결을 보장하는 것입니다.
냉각 스테이브 또는 백킹 플레이트가 심하게 휘어지면 설치 중에 대상이 깨지거나 구부러질 수 있습니다. 이는 백킹 플레이트에서 타겟까지의 열전도율에 큰 영향을 미쳐 스퍼터링 중 열 방출을 방지하고 궁극적으로 타겟에 균열이 생기거나 탈선하게 됩니다.
원스톱 솔루션-
전문 팀
고품질
적절한 열 전도성을 보장하기 위해 흑연 종이 층을 음극 냉각 스테이브와 타겟 사이에 배치할 수 있습니다. 스퍼터링 건 냉각 스테이브의 평탄도를 주의 깊게 검사 및 확인하고 밀봉 링이 항상 제자리에 있는지 확인하십시오.
사용되는 냉각수의 청정도와 장비 운전 중 발생할 수 있는 오물이 음극냉각수탱크에 쌓이게 되므로 냉각수의 원활한 순환을 보장하고 흡입구와 배출구가 막히지 않도록 타겟재 설치 시 음극냉각수탱크를 점검하고 청소해야 합니다.
일부 음극 설계에는 양극과 작은 간격이 있으므로 타겟 물질을 설치할 때 음극과 양극 사이에 접촉이 없고 도체가 없는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 단락이 발생합니다.
방문하다https://www.zhenanmetal.com제품에 대해 자세히 알아보세요. 제품 가격에 대해 더 알고 싶으시거나 구매에 관심이 있으신 분은 이메일을 보내주세요. info@zaferroalloy.com. 귀하의 메시지를 확인하는 즉시 연락드리겠습니다.