타겟물질 선정의 원칙은 무엇인가요?

표적 물질은 고속-에너지 입자에 의해 충격을 받는 표적 물질입니다. 이는 고에너지-레이저 무기에 사용됩니다. 다양한 출력 밀도, 다양한 출력 파형 및 다양한 파장의 레이저가 다양한 대상 물질과 상호 작용하면 다양한 살상 및 파괴 효과가 생성됩니다.

대상물질 선정 원칙

(1) 대상물질 조성 필름은 기계적 강도와 화학적 안정성이 좋아야 한다.

(2) 반응성 스퍼터링에 사용되는 필름 재료는 반응 가스와 복합 필름을 쉽게 형성할 수 있어야 합니다.

(3) 타겟재와 기판이 견고하게 조립되어 있어야 합니다. 그렇지 않은 경우에는 기판과의 접착력이 좋은 필름 재료를 사용해야 합니다. 첫째, 필요한 필름층을 준비하기 전에 베이스 필름을 스퍼터링해야 합니다.

(4) 필름 성능 요구 사항을 충족한다는 전제하에 타겟 물질과 기판 사이의 열팽창 계수 차이가 작을수록 스퍼터링 필름에 대한 열 응력의 영향을 줄일 수 있습니다.

(5) 필름의 용도 및 성능 요구 사항에 따라 사용되는 대상 재료는 순도, 불순물 함량, 구성 요소 균일성, 기계적 특성 등의 요구 사항을 충족해야 하며 가공 정확도와 같은 기술적 요구 사항을 충족해야 합니다.