지르코늄 표적스퍼터링 코팅 공정에 사용되는 지르코늄 재료, 특히 특정 제조 공정을 통해 만들어지고 지르코늄 박막 증착에 사용되는 재료를 참조하십시오. 주로 순수한 지르코늄 (ZR) 또는 지르코늄 합금 (예 : 지르코늄-하프 니늄 합금 ZR-HF 합금, 지르코늄-니오피움 합금 ZR-NB 합금 등)으로 만들어졌으며, 디스크 형 또는 시트 모양의 구조가 주로 전기 공세에서 스퍼터링 프로세스에서 사용됩니다. 이들 표적은 필요한 박막 재료를 형성하기 위해 고온에서 스퍼터링 기술에 의해 기질 상에 증착된다.
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지르코늄 목표
지르코늄 표적 금속