제난 지르코늄 타겟의 기본 특성
1. 높은 녹는점: 지르코늄의 녹는점은 1852℃로 높습니다. 고온 환경에서는지르코늄 타겟용융되거나 변형되기 쉽지 않아 박막 증착 등의 공정이 원활하게 진행되고 제품 품질과 공정 안정성이 향상됩니다.
2. 화학적 안정성: 지르코늄 타겟은 다양한 화학물질의 침식을 저항할 수 있으며 안정성을 가지고 있습니다.
3. 내식성: 산성 및 소금 분무 환경에서 지르코늄 타겟은 우수한 내식성을 나타내어 재료의 사용 수명을 연장합니다.
4. 밀도 및 경도: 지르코늄의 밀도는 약 6.51 g/cm³로 우수한 기계적 안정성을 제공합니다. 동시에 지르코늄은 경도가 좋으며 마모 및 기계적 충격에 저항할 수 있습니다.
5. 열전도도: 지르코늄은 약 22 W/m·K의 높은 열전도도를 가지고 있어 사용 중 열을 효과적으로 발산하는 데 도움이 됩니다.
지르코늄 타겟의 기본 매개변수
| 재료 | Zr 타겟 |
| 청정 | 99.5% |
| 크기 | 직경 1, 2, 3, 4 또는 사용자 정의 |
| 상대 밀도 | 80% 이상 |
| 모양 | 원형, 직사각형, 과립형 또는 맞춤형 |
| 기술 | 신스터링 |
| 본딩 | 인듐, 엘라스토머 |
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