텅스텐 목표는 다른 스퍼터링 대상과 어떻게 다릅니 까?

Molybdenum과 비교할 때 : Molybdenum은 또한 고온 성능이 우수한 일반적으로 사용되는 스퍼터링 대상입니다. 그러나 텅스텐은 내구성이 높고 용융점이 높다. 이로 인해 Tungsten은 Molybdenum이 고온을 효과적으로 견딜 수없는 매우 고온 응용에 더 적합합니다.

알루미늄과 비교할 때 : 알루미늄 표적은 전기 및 열전도율이 높기 때문에 더 낮은 용융점을 필요로하는 응용 분야에 더 적합합니다. 그러나 빠른 목표 저하를 일으킬 수있는 고전력 응용 프로그램의 경우 Tungsten의 견고성을 통해 더 오래 지속될 수 있습니다. 알루미늄은 텅스텐보다 높은 에너지 조건에서 더 빨리 부식됩니다.

구리에 비해 : 구리는 RF 스퍼터링과 같이 열 및 전기 전도도가 중요한 응용 분야에서 선호됩니다. 그러나 Tungsten은 유사한 조건에서 열 응력에 대한 저항력이 뛰어나고 부식 속도가 느립니다. 이로 인해 Tungsten은 코팅 공정의 기계적 및 열 응력을보다 잘 견딜 수 있기 때문에 내마모성 코팅이 필요한 응용 분야에보다 안정적인 선택이됩니다.