몰리브덴 타겟의 성능 계수
순도: 몰리브덴 타겟의 순도는 성능의 핵심 지표입니다. 일반적으로 고순도 몰리브덴 타겟의 순도는 99.95% 이상에 도달할 수 있습니다. 고순도는 박막 증착 공정 중 불순물을 최소화하여 최종 제품의 품질을 향상시킵니다.
밀도: 몰리브덴의 이론 밀도(10.22 g/cm³)에 가까운 밀도는 고품질 몰리브덴 타겟의 신호입니다. 밀도가 높을수록 재료에 공극이 적고 구조가 단단하다는 것을 나타내며, 이는 타겟 재료의 서비스 수명과 안정성을 개선하는 데 중요합니다.
열전도도: 몰리브덴의 열전도도는 약 138 W/m·K입니다. 높은 열전도도는 고속 코팅 중 타겟의 온도 제어에 매우 중요하며, 타겟의 과열 및 구조적 손상을 방지하는 데 도움이 됩니다.
열팽창 계수: 몰리브덴은 약 4.8×10^-6/도의 낮은 열팽창 계수를 가지고 있습니다. 이 특성은 몰리브덴 타겟이 온도 변화 하에서 양호한 치수 안정성을 가지고 있음을 의미하며, 이는 필름 증착 공정의 일관성과 정확성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
경도 및 강도: 몰리브덴은 약 2500 HV의 비커스 경도를 가지고 있으며 높은 기계적 강도를 가지고 있습니다. 이를 통해 몰리브덴 타겟은 고속 코팅 중에 기계적 충격을 견딜 수 있습니다.
표면 평탄도 및 거칠기: 표면 평탄도 및 거칠기는 몰리브덴 타겟의 품질을 평가하는 데 중요한 매개변수이기도 합니다. 좋은 표면 처리로 타겟 사용 중 입자 생성을 줄이고 증착된 필름의 균일성과 품질을 개선할 수 있습니다.
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몰리브덴 타겟 소재의 공통 구성 요소
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청정(%)
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애그
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니
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P
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쿠
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납
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N
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＜0.0001
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＜0.0005
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＜0.001
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＜0.0001
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＜0.0001
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＜0.002
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시
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마그네슘
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카
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주석
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바
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CD
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＜0.001
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＜0.0001
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＜0.001
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＜0.0001
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＜0.0003
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＜0.001
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나
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C
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철
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O
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H
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모
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＜0.0024
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＜0.0033
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＜0.0016
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＜0.0062
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＜0.0006
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＞99.97
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