준비 및 처리지르코늄 표적원료 준비, 대상 블랭크 준비, 표적 재료로의 처리 및 Magnetron 스퍼터링 전 처리를 포함한 여러 단계를 포함합니다. 특정 프로세스는 다음과 같습니다.
원료 준비 : 순수한 지르코늄 분말 또는 지르코늄 합금 분말을 원료로 사용하면 순도는 일반적으로 99.9%보다 크거나 동일해야합니다. 합금 분말을 사용하는 경우, 디자인 된 비율에 따라 상이한 비율의 지르코늄 분말 및 합금 분말을 골고루 혼합해야한다.
프레스 : 혼합 분말을 압박 기계에 의해 블랭크로 누릅니다. 일반적으로 사용되는 형성 방법에는 CIP (Cold Isostatic Pressing) 및 Hot Isostatic Pressing (HIP)이 포함됩니다. 콜드 등방성 프레스는 저온 프레스에 적합하며 분말의 직접 압축에 적합합니다. 뜨거운 등방성 프레스는 고온 프레스에 적합하며, 이는 분말의 기공과 불순물을 추가로 제거하고 밀도를 향상시킬 수 있습니다.
소결 : 압축 된 블랭크는 일반적으로 뜨거운 등방성 프레스 (고관절)에 의해 고온에서 소결됩니다. 소결 온도와 시간은 특정 재료 및 프로세스 요구 사항 (일반적으로 1500도 이상)에 따라 조정해야합니다. 소결 과정에서 산화 및 오염을 피하기 위해 대기를 제어해야합니다.
마감 : 소결 블랭크는 회전, 밀링 및 연삭과 같은 기계적 처리 방법에 의해 디스크와 같은 원하는 대상 모양으로 처리됩니다. 고정밀 처리 장비를 사용하여 대상의 치수 정확도와 표면 품질을 보장하십시오.
표면 처리 : 가공 된 표적은 표면 마감 및 균일 성을 향상시키기 위해 연마 또는 화학적 연마와 같은 표면 처리를받습니다. 초음파 청소 및 화학 청소는 표면의 불순물과 산화물을 제거하는 데 사용됩니다.
품질 검사 : 준비된 지르코늄 목표는 치수 정확도, 표면 거칠기, 화학 조성, 밀도 등을 포함한 품질 검사를받습니다. X-Ray 회절 (XRD), 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 및 기타 장비를 사용하여 검사를받습니다.
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